Minimal foundry

ミニマルファウンドリとは

半導体製造工程に革新をもたらしたミニマルファブ構想。
国立研究開発法人 産業技術総合研究所(産総研つくば)主導で始まったプロジェクトの一員として、私たちはミニマル マスクレス露光装置の研究開発に携わっています。
2015年にはミニマル装置群を並べた“ミニマルファウンドリ”を本社建屋内に開設し、受託による試作開発を行っています。

ミニマル マスクレス露光装置とは

従来のフォトリソグラフィでは、フォトマスクの製作に莫大な費用と時間、そして広大な設備が必要とされていました。
ミニマル マスクレス露光装置は、DMDと呼ばれる表示素子を使用した直接描画を行うため、半導体試作プロセスのサイクルタイム短縮に大きく貢献します。

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FOWLP 試作開発に貢献

IoT 技術を可能にするFOWLP(Fan Out Wafer Level Package)。2018年秋、私たちは世界初となる0.5インチウェハ専用FOWLP試作サービスをスタートさせました。
マスクレスの特長を活かし、電気特性評価に必要なだけの再配線パターンを短納期で提供できるため、コスト競争力のある試作開発に貢献します。

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