計測機器の高精度位置決めに！
セラミックス製＆完全非接触ガイドだからメンテナンスフリー！
セラミックエアスライドRCシリーズは、空気静圧による完全非接触ガイドです。
LMガイドやクロスガイドと違い、転がりによる振動が発生しないため、摺動抵抗が極めて小さく、高速移動が可能。
また、姿勢精度（ピッチング・ヨーイング）の値が小さく、高い真直度を維持できるため、計測機器や半導体製造装置など、高精度な走行動作が求められる装置のステージに最適です。
剛性に優れたアルミナセラミックスを使用することで経年劣化がほとんど無く、また、オイルやグリスなどによる潤滑も必要ないので、メンテナンスフリーで半永久的にご使用いただけます。
RCセラミックエアスライドの特性
各値の測定方法と定義
剛性
テーブル中心に一定負荷をかけ、1µm変位したときの負荷量を換算して表す。
（ガイド軸の剛性は除く）
負荷容量
テーブル中心に負荷をかけ、テーブルとガイド軸が接触したときの負荷量を表す。
真直度
レーザ測定システムにて角度測定を行う。
（JISB6191測定法に準拠）
| モデル | 2RC025 | 2RC050 | 2RC100 | 3RC025 | 3RC050 | 3RC100 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ストローク （mm） | 25 | 50 | 100 | 25 | 50 | 100 |
| 剛性 （kgf/µm） | 上下：1.0 左右：0.8 | 上下：1.0 左右：0.8 | 上下：2.0 左右：1.5 | 上下：2.0 左右：1.5 | 上下：2.0 左右：1.5 | 上下：4.0 左右：3.0 |
| 最大積載荷重 （kgf） | 2 | 2 | 4 | 4 | 4 | 8 |
| 空気消費流量 （NL/min） | 8以下 | 8以下 | 13以下 | 10以下 | 10以下 | 15以下 |
| 真直度* （µm/Stroke） | 上下：0.1 左右：0.1 | 上下：0.2 左右：0.1 | 上下：0.2 左右：0.2 | 上下：0.1 左右：0.1 | 上下：0.1 左右：0.1 | 上下：0.2 左右：0.2 |
| ピッチング （µm） | 0.01 | 0.12 | 0.18 | 0.01 | 0.02 | 0.07 |
| ヨーイング （µm） | 0.01 | 0.08 | 0.09 | 0.01 | 0.06 | 0.07 |
*無負荷時の参考測定値です。
ステージユニットへの応用
当社では、セラミックエアスライドをベースに、高剛性、非接触性に加え、真空性、非磁性を兼ね備えた高精度ステージシステムの設計・製作も行っています。
また、マスクレス露光装置など高度な位置決め精度が必要となる装置の設計・製作も承りますので、お気軽にご相談ください。
XYZθエアスライドステージ（製作例）
| エンコーダ― | X, Y: レーザ干渉計 Z, θ: 光学式リニアエンコーダー |
| ストローク | X, Y: 300mm Z: 7mm |
| 絶対位置決め精度 | X, Y: ±1.0µm/300mm |
| 繰り返し位置決め精度 | X, Y: ±0.1µm |
| 真直度 | X, Y: ±0.2µm以下/300mm |
| 直交度 | X, Y: 0.5µm以下/300mm |
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