陽極接合支援装置［KOG-404-V］

研究開発・試作用途に最適な小型設計！
高真空タイプの製作も承ります！

KOG-404-Vは、真空チャンバー、高温度ヒーター部、高電圧ユニットで構成される小型の陽極接合支援装置です。

ホウ珪酸ガラス―シリコン、ホウ珪酸ガラス―金属（Ti、Mo、Al、Kovar）などの材料による陽極接合の試作が可能。

オプションで高真空タイプ（～10⁻⁴Paオーダー）の製作も承ります。

陽極接合は、静電引力を利用した固相拡散接合です。

電圧を印加することによって、ガラス内の可動イオンがシリコンとの接合界面に移動することで静電引力が発生し、共有結合が起こります。

接着剤を使用しないため温度特性に優れ、また接合強度が強いのも特長です。

電極はワンタッチで基板にクランプすることができます。
また、2つの電極プローブを装備しているため、2つのワークを同時に接合することができます。

AC100V電源仕様に加え、本体はW530 × D550mmの小型設計。

設置を選ばず、研究室などの限られた空間でもご使用いただけます。

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