硫酸銅めっき液添加剤測定装置［LT8900CVS］

硫酸銅めっき液添加剤の有機成分をインラインで測定･補給します！

半導体やプリント基板などの製造工程で使用される硫酸銅めっき液添加剤の有機成分を測定・補給する装置です。

ビアフィリングめっきにおいて、表面の平坦度やビア内の埋め性を向上させるため、めっき液中の添加剤濃度を測定し、そのバランスを取ることが不可欠です。
LT8900CVSはCVS（Cyclic Voltammetry Stripping）法によって添加剤濃度を測定。不足している成分がある場合は補給信号を出力し、自動補給を行います。

上村工業や奥野製薬工業、JCUなど各メーカー製の添加剤に対応。
めっき液槽から直接サンプリングし、任意のサイクルタイムで自動測定を行うため、マニュアル作業に比べめっき液濃度が安定しやすくなり、製品の歩留まり向上が図れます。

システム構成例

LT8900CVSがめっき液槽から直接サンプリングを行い、成分分析を行います。試薬液の補給はLT8900CVSが定量ポンプを動作させることもできますし、既設の動力制御盤があればそこに接続することもできます。

測定項目

添加剤	一般的な呼称
抑制剤	Suppressor, Polymer, Carrier, Wetterなど
促進剤	Accelerator, Brightener, Additiveなど
レベリング剤	Levelerなど

製品仕様

機種名	硫酸銅めっき液添加剤測定装置 LTAS1
操作	内蔵タッチパネルPC
外形寸法	W700 × D600 × H1665mm
重量	約140kg
電源	AC100V 10A 50/60Hz
インターフェイス	Ethernet（オプション）