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超精密ステージ

ナノメートルオーダーの真直度・位置決め精度を実現できます!

◆超精密位置決めに最適なステージ!

ステージは装置の精度を司る、謂わば心臓部です。

ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。

 

◆非接触&超精密加工で高い真直度・位置決め/繰り返し精度を実現!

非接触のエアスライドを使用することでダストが発生することもなく、メンテナンスフリーでご使用いただけます。

また、超高精度に製作されたファインセラミックス製のガイドを使用し、精密恒温環境で組立・調整を行うことで、ナノメートルオーダーの位置決め/繰り返し精度と極めて高い運動精度を実現しています(※)

 

(※)位置決め精度/繰り返し精度はステージの構成やご使用環境によります。ご希望の精度を実現するためのご提案を行いますので、まずはお気軽にご相談ください。

 

■製作実績-1

 

微小位置決め分解能▲微小位置決め分解能(画像クリックで拡大します)

 

ステージ形式 セラミックス製XYZ 3軸積み重ね
駆動方式 粗動:ボールねじ
微動:PZT(ピエゾ)
エンコーダ 光学式リニアエンコーダ
ストローク X,Y: 10mm Z: 5mm
繰返し精度 X, Y, Z: ±0.01µm以下

 

 

■製作事例-2

 

 

ステージ形式 セラミックス製XYZθ エアスライドステージ
エンコーダ X, Y: レーザ干渉計
Z, θ: 光学式リニアエンコーダ
ストローク X, Y: 300mm Z: 7mm
位置決め精度 X, Y: ±1.0µm/300mm
繰り返し精度 X, Y: ±0.1µm
真直度 X, Y: ±0.2µm以下/300mm
直交度 X, Y: ±0.5µm以下/300mm

 

ピーエムティーの超精密ステージ

用途一覧

露光装置などの半導体製造装置
半導体検査装置
光学モジュールや半導体組立装置
精密計測器

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