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小型ナノステージ[nano-UP Series]

レーザー光軸やレンズの調心に最適!この小ささ、薄さでナノメートルオーダーの超超精密位置決めが可能です!XYZΘの組合せも自在!

nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールとピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。

手のひらサイズの高精度ステージです。

 

 

ステッピングモーター(粗動)とピエゾ(微動)の高速切替えにより、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。

ラインアップは、1軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの3種類4モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。

 

カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。

 

■組み合わせ事例

・X-Yステージ

1軸ステージを2台重ねれば、超小型X-Yステージとなり、2 方向の動作が可能です。
1台約 25mm の薄さなので、複数台重ねて使用することができます。

 

・θ-(傾斜)X-Yステージ

θ× 傾斜ステージの組み合わせ。

光軸調整など、精密な角度制御が必要とされる用途に最適です。

用途一覧

・レーザ光軸の調整
・レンズの調芯
・その他、微細な位置決めが必要となる用途

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