Product lineup［製品ラインアップ］

nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールとピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。

手のひらサイズの高精度ステージです。

 

 

ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替えにより、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。

ラインアップは、1軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの3種類4モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。

 

カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。

 

■組み合わせ事例

・X-Yステージ

1軸ステージを2台重ねれば、超小型X-Yステージとなり、2 方向の動作が可能です。
1台約 25mm の薄さなので、複数台重ねて使用することができます。

 

・θ-（傾斜）X-Yステージ

θ× 傾斜ステージの組み合わせ。

光軸調整など、精密な角度制御が必要とされる用途に最適です。

 

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超高精度小型ナノステージ【nano-UPシリーズ】カタログ

 

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