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マスクレス露光装置[D-light DL-1000]

DMDの高速時間変調で256階調の三次元グレースケール露光が可能!高精度露光へのこだわりが満載です!

製造元: 株式会社ナノシステムソリューションズ

通常ON/OFF制御を行うDMDですが、高速なマイクロミラーの時間変調によって、256諧調のグレースケール露光が可能です。
レジストの三次元加工が容易に行えるため、市場の新たなニーズにお応えします。

▲レンズ形状 ▲厚膜レジスト(SU-8)

 

■装置仕様
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W855×D820×H1,500mm
標準:□100mm
(1,000mm以上も対応可)
露光方 スキャン露光方式
LED or LD
最小画 標準:1µm

(オプション:0.5, 2, 5µm)

重ね合わせ精度 ±1µm以内
露光能 >80mm2/min (LED Step & Repeat)

>200mm2/min (LED Scanning)

>1,00mm2/min (Laser)

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DL-1000

用途一覧

各種半導体デバイスの開発、少量多品種のデバイス製造ライン
大型ディスプレイ用フォトマスク製造

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