Product lineup［製品ラインアップ］

製造元：	株式会社ナノシステムソリューションズ

通常ON/OFF制御を行うDMDですが、高速なマイクロミラーの時間変調によって、256諧調のグレースケール露光が可能です。
レジストの三次元加工が容易に行えるため、市場の新たなニーズにお応えします。

▲レンズ形状	▲厚膜レジスト（SU-8）

 

■装置仕様
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寸法	W855×D820×H1,500mm
基板	標準：□100mm （1,000mm以上も対応可）
露光方式	スキャン露光方式
光源	LED or LD
最小画素	標準：1µm （オプション：0.5, 2, 5µm）
重ね合わせ精度	±1µm以内
露光能力	>80mm2/min (LED Step & Repeat) >200mm2/min (LED Scanning) >1,00mm2/min (Laser)

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マスクレス露光装置【D-light DL-1000】カタログ

 

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