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カメラアライメント機能付CNC微細加工機[Micro MC-5]

高精度アライメントカメラ搭載で追加工を効率化!高い加工精度も魅力です!

上部のカメラがアライメントマークを認識することにより、画像処理による位置決めが可能です。
ワークの外形に左右されることなく、エッチング、ブラスト、フォトリソグラフィなどと組み合わせた加工が容易に。
ATC(自動工具交換)も標準装備で、追加工にかかるサイクルタイムを大幅に削減できます。
(ミストコレクタ、シグナルタワー、カメラ制御ボックスはオプションです)

▲高精度アライメントカメラ ▲アライメントマーク認識画面

 

■装置仕様
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W1,190×D1,315×H1,735mm
本体1,300kg
主軸回転数 5,000~60,000rpm
ストローク X230×Y300×Z200mm
繰返し精度 ±0.0015mm
制御分解能 0.0001mm
制御 CNC
AC200V/20A

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Micro MC-5

用途一覧

半導体ウェハの追加工

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