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カメラアライメント機能付CNC微細加工機[Micro MC-5]

高精度アライメントカメラ搭載で追加工を効率化!高い加工精度も魅力です!

上部のカメラがアライメントマークを認識することにより、画像処理による位置決めが可能です。
ワークの外形に左右されることなく、エッチング、ブラスト、フォトリソグラフィなどと組み合わせた加工が容易に。
ATC(自動工具交換)も標準装備で、追加工にかかるサイクルタイムを大幅に削減できます。
(ミストコレクタ、シグナルタワー、カメラ制御ボックスはオプションです)

▲高精度アライメントカメラ ▲アライメントマーク認識画面

 

■装置仕様

寸法: W1,235×D1,315×H1,840mm
重量: 本体1,300kg
主軸回転数: 5,000~60,000rpm
ストローク: X400×Y300×Z200mm
有効加工範囲: X300×Y300mm
繰返し位置決め精度: ±0.0015mm
位置決め精度: 0.005mm
制御分解能: 0.0001mm
制御部: CNC
電源: AC200V/20A
Micro MC-5

用途一覧

半導体ウェハの追加工

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