| 1991年10月 |
福岡県大野城市にて会社設立 |
| 1996年7月 |
業務拡張のため福岡県粕屋郡須恵町（現在地）に本社・工場を新築 |
| 1997年7月 |
技術開発棟を増築 |
| 1998年4月 |
開発１号機マイクロサーボプレスシステムを完成
東京都大田区に東京営業所開設 |
| 1999年7月 |
装置組立棟を増築 |
| 2000年12月 |
製造工場を増築 |
| 2001年7月 |
精密小型プレス機（S-CD-1）のシステム完成 |
| 2002年1月 |
卓上型NC微細加工機（Micro
MC）完成 |
| 2002年5月 |
卓上型ATC付微細加工機の開発（福岡県地域産業技術改善補助金の受給） |
| 2002年9月 |
有限会社光学システム研究所へ出資、設立 |
| 2003年5月 |
YVO4レーザー加工機の開発（福岡県地域産業技術改善補助金の受給）
マイクロ・ナノファブリケーションシステムの開発
（経済産業省地域コンソーシアム産学官連携開発補助金の受給） |
| 2004年10月 |
超精密平面・段差測定機（Feel）の開発
広域ネットワーク［ファイブテックネット］への取り組み |
| 2004年12月 |
セラミックスＸ−Ｙステージの開発 |
| 2005年1月 |
小型NC微細加工機（Micro
Robo）完成 |
| 2005年3月 |
常温接合装置の開発 |
| 2005年7月 |
平成１７年度地域新生コンソーシアム研究開発事業
（九州地域産業クラスター・電子部材高度加工技術の確立） |
| 2005年8月 |
中小企業・ベンチャー実用化研究開発事業（ナノペーストによる微細配線装置） |
| 2005年10月 |
【企動力】【ナノレゾ】【ナノレゾリューション】の商標登録 |
| 2006年3月 |
株式会社エヌテックへ出資、資本提携 |
| 2006年4月 |
工場拡張により、クリーンルーム・恒温恒湿室を設置 |
| 2006年8月 |
株式会社エヌテックを子会社化 |
| 2006年10月 |
有限会社テックコンシェルジェ熊本を子会社化 |
| 2007年11月 |
環境マネジメントシステムの国際標準規格 ISO14001 の認証取得 |
| 2008年6月 |
中小企業庁より「元気なモノ作り中小企業300社2008年度版」に選出されました |
| 2009年4月 |
微細加工装置の位置決め高精度化及びパターン生成技術研究開発
（戦略的基盤技術高度化支援事業 ものづくり高度化法） |
| 2009年5月 |
環境事業部門を設立
Nano
Cubic（高濃度溶存ガス溶解水製造システム）の展開 |
会社理念
会社沿革