ピエゾアクチュエータと赤外線透過画像処理により、真空チャンバー中でサブミクロンのアライメントを達成します
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Bonding System 真空アライメント機能付き陽極接合装置（型式：WA-9000）
表面活性化ウエハー接合用ボンディング装置　ウエハーアライナー
部品製作・加工
システム商品・装置
真空アライメント機能付き陽極接合装置ウエハーアライナー(WA-9000)
真空アライメント機能付き陽極接合装置（型式：WA-9000）
  • 真空中でサブミクロンのアライメント精度を達成
  • 真空チャンバー中で脱ガス後、高精度に位置決め接合が可能
特長
  1. 特殊ピエゾアクチュエータ1本での微少移動を達成。赤外線画像処理との併用により真空チャンバー中でのサブミクロンのアライメントを達成します。
  2. 真空チャンバー中でアニーリングによる「脱ガス→アライメント→接合」までを一括して行うことにより、高真空封止を高精度な張り合わせ精度で達成します。（ガス封止）
  3. 上下からの同時ヒーティングプロファイルにより反りを抑えた張り合わせが可能。
  4. 均熱に優れたシース埋め込み耐圧ヒータにより低温でも最適な陽極接合状態を作り出します。
  5. エアサーボにより高精度な位置決めと最大7500Nの制御が可能になります。
真空封止フロー
1.ウエハーセット真空引き 2.アニーリングによる脱ガス
3.真空中アライメント 4.電圧印加による密着封止（陽極接合）
特殊ピエゾアクチュエータの動作原理
(1)支持 (2)テーブル移動 (3)高速復帰