チップ同士の接合強度を定量的に測定できる試験キット
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簡易ウエハー切断機
接合済のウエハーを割断し、簡易的に個片化が可能な試験機。引張試験機PT-4900Nとの組合せに適しております。
■製品仕様
試料寸法
〜6インチ
試料供給方式
マニュアル
ヘッド圧力
最大10N(0.5MPa時)
カッター
ダイヤモンドカッター
ステージ
160×310mm
引張試験機 PT-4900N
チップの接合強度評価を定量的に荷重が確認できる試験機です。
■製品仕様
試料寸法
〜8mm
試料供給方式
治具に接着剤にて固定
圧力
Min.200N〜Max.4900N
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