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 多機能超音波接合専用システムUP-Lite
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高機能なスペックでありながらコンパクト・低コストを実現。
品種切換等の段取変更もリボルバホーンクランプ方式採用により短時間で高精度に行うことが可能。 |
 ロードセル/高速電空バルブを内蔵しており、接合面積の増加に合わせ、リニアランプに荷重をフィードバック制御- リボルバホーンクランプ方式（商標登録）により、品種切換やホーン摩耗時の段取変更が短時間で高精度に行えます。
また、周波数の切換もホルダーと発振器のみの交換で対応
- 接合時の位置や荷重、パワー、時間その他様々なファクターをサンプリングし、全てのピーク値の表示グラフ化することができ、また各々のファクターに対し閾値を設け良否判定を行うことが可能です
≪オプション≫平面調整ジャイロステージ
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| 装置仕様 |
| 対応周波数（kHz） |
(1)19.15 / (2)28.5 (3)39.5 / (4)48.5(kHz) |
| 最大出力（W） |
(1)2000 / (2)900 / (3)600 / (4)150(W) |
| 加圧力 |
1000(N) |
| ストローク |
20mm |
| 機能 |
実荷重による接地検出
リニアランプ荷重制御 |
| 添付 |
プロファイル参照ソフト |
| オプション |
良否判定外部出力ユニット
平面調整ジャイロステージ |
| ユーティリティー |
| 空圧 |
0.4MPa |
| 電源 |
AC100V 10A |
| 装置外観 |
| 装置外寸 |
W142 × D325 × H215mm |
| 重量 |
10kg |
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小型NC微細加工機
ウエハー・チップ接合
超音波接合機（UP-500)
チップ接合装置（CA-300）
