プロセス評価のための様々な組み合わせが可能なユニットです。

COC（チップオンチップ）、COW（チップオンウエハー）対応。
サブミクロンのアライメント精度を誇るMEMSチップ接合装置です。
高速応答セラミックヒータ標準装備。