ピエゾアクチュエータと赤外線透過画像処理により、真空チャンバー中でサブミクロンのアライメントを達成
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Bomding System ナノインプリント装置（型式：CA-1000）
ウエハー一括、ステッパー式ナノインプリント装置
部品製作・加工
システム商品・装置
ナノインプリント装置（CA-1000）
ナノインプリント装置
  • サブミクロンのアライメント精度を誇るステッパー式ナノインプリント装置
  • 高速応答セラミックヒータ標準装備

特長
  1. ピエゾアクチュエータと赤外線透過画像処理により、真空チャンバー中でサブミクロンのアライメントを達成します。
  2. 高速応答セラミックヒータ搭載。
  3. 高加重ヘッドを搭載。ステッパー方式ナノインプリント装置に。
  4. 最大8"ウエハーまで対応。