2つのワークが同時に接合できる2電極方式。小型で低価格な簡易陽極接合機です。
株式会社ピーエムティートップページへ
株式会社ピーエムティーホームページへ 製品情報ページへ 会社情報へ 採用情報へ お問い合わせ サイトマップ
ホーム > 製品情報 > 接合装置関連 > ウエハー・チップ接合 > 簡易陽極接合機 BONDING（KOG-404Vll）
Bonding System 簡易陽極接合器bONDING（型式：KOG-404VII）
小型で低価格、尚、2つのワークが同時に接合できる2電極方式
部品製作・加工
システム商品・装置
簡易陽極接合機(BONDING)
簡易陽極接合装置 簡易陽極接合装置
型式：KOG-404-Vll

小型で低価格、尚、2つのワークが同時に接合できる2電極方式。
研究、試作、量産に機能的提案いたします。
概要
可動イオンを含むガラスとシリコンウエハーの静電引力接合。
ワークを高温加熱し高電圧をかけることで基板どうしを接合することができます。
マイクロリアクター用チャネル製作に、デバイスの接合に迅速且つ簡単に試作品、量産品を製作できます。
仕様
外寸 530mm（幅）×550mm（奥）×900mm（高さ）
電源 AC100V
電力 15A
重量 82kg
ステージ寸法 100mm × 100mm
最高加熱温度 600℃（常温 → 400℃上昇まで20分 → 600℃が＋20分）
接合電圧 1000V　0.2A
安全機工 安全カバーを開け次第、接合機の電圧はシャットダウンいたします。
（加熱後のステージは温度が常温になるまで時間がかかりますのでステージにお手を触れないようお願い致します。）
簡易陽極接合装置ワーク 2電極方式で2つのワークが同時に接合できます。
電極はワンタッチでワークにクランプができ工具を使用しません。

ステージは、お客様のご要望によりカスタマイズできます。