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 超精密X-Yステージ
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| ナノステージ参考例 |
| ■ レーザー干渉計：RLE10レーザー |
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レーザー干渉技術を応用している高精度、高分解能、非接触を実現できるポジションフィードバックシステムです。
アッペ誤差等の、リニアエンコーダーでは取り除くことが困難な誤差成分を取り除くことができます。 |
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| ■ 同期式圧電アクチュエーター：SPIDER |
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接触部における摩耗メカニズム解折と、低摩擦領域での駆動回路、制御アルゴリズムの開発により、極低摩耗な接触式駆動を実現。真空使用や非磁性使用も有ります。 |
| 真直参考データ |
| ■ Y軸真直50nm/100mm（フルストローク） |
■ X軸真直30nm/100mm（フルストローク） |
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| （アジレントテクノロジー社製 A5529による計測） |
| 仕様 |
| 外形寸法 |
幅570mm×奥行き460mm×高さ300mm（石定盤含む） |
| トップテーブルサイズ |
110mm×110mm |
| テーブルストローク |
X-Y軸100mm |
| 搭載可能荷重 |
10kg |
| 重量 |
200kg |
| ガイド |
セラミックエアー制圧ガイド |
| 駆動源 |
同期式圧電アクチュエーター／位置決め分解能1nm以下 |
| 最高速度 |
〜150mm/sec |
| レーザー干渉計 |
RLE10レーザースケール／分解能10nm（レニショー(株)製） |
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| ご要望に合わせたステージを製作いたします。 |
| ≪システム協力会社≫ |
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有限会社テック・コンシェルジェ 熊本 |
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部品加工
RCセラミックエアスライド
