セラミックエアスライドシステム製品・リニアステージシステムの詳細
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ナノレゾリューションステージ リニアステージシステム（RC-LST）
セラミックエアスライドシステム製品
システム商品・装置
リニアステージシステム
部品製作・加工
リニアステージシステム（RC-LST） 定番のリニアシステムでお気軽にご使用いただけます。
性能
繰り返し位置決め精度 0.5μm
最大移動速度 100mm/s
サムタック製 光学スケールを使用
メモリP.C 20μｍ
最小分解能 0.1μｍ　
オーダー番号 型式 真直度
（μm/ストローク）		 最大積載荷量 ストローク
53225 2RC-LST-025 0.1μm 3kgf 25mm
53250 2RC-LST-050 0.2μm 3kgf 50mm
53325 3RC-LST-025 0.1μm 7kgf 25mm
53350 3RC-LST-050 0.1μm 7kgf 50mm
53300 3RC-LST-100 0.2μm 13kgf 100mm
1軸制御BOX PLCT-1 -
制御BOX仕様：1軸コントロール機能付：I/F　コマンド/パルス列/アナログ
　：オートチューニング、インターボレター機能付：通信ケーブルRS-232C（2m）
※真直度は無負荷時の計測値です