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RCフィードバックステージ
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独自開発のコントローラーによりパルスモーターをスケールからの(10nm:100nm)フィードバック制御を行うことで、高精度な繰り返し位置決め精度を実現できます。
また、エアースライドでありながらボールネジの影響を受けないような工夫をし、滑らかな走りが可能です。
多軸の専用コントローラーを仕様することで、複数台の同時制御が可能です。 |
性能 |
| 位置決め精度 |
0.5μm/ストローク |
| 繰り返し位置決め精度 |
±0.1μm |
| 最適速度 |
10mm/s |
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ステージ |
| オーダー番号 |
型式 |
真直度
(μm/ストローク) |
最大積載荷量 |
ストローク |
| 52225 |
2RC-BST-025 |
0.1μm |
3kgf |
25mm |
| 52250 |
2RC-BST-050 |
0.2μm |
3kgf |
50mm |
| 52325 |
3RC-BST-025 |
0.1μm |
7kgf |
25mm |
| 32350 |
3RC-BST-050 |
0.1μm |
7kgf |
50mm |
| 52300 |
3RC-BST-100 |
0.2μm |
13kgf |
100mm |
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システム制御 |
| ■ インターフェース仕様 |
| TCP/IP |
Ethernet 10/100 Base-T |
| USB |
USB-2 :B Type |
| RS-232C |
96000,19200,38,400:D-sub 9pin
8Bit,1Stop-bit,Non-flow,control |
| 汎用I/O |
入力:4ボート フォトアイソレータ入力 |
| 出力:4ボート オープンコレクタ出力 |
| ジョイスティック |
1ボート 専用コントローラ |
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HRSシステム
コントロールボックス |
| ■ 一般仕様 |
| 電源 |
AC100V±10%(50/60Hz)3A |
| 周囲温度/湿度(動作時) |
10-40℃/20-80%RH(結露不可) |
| 周囲温度/湿度(保管時) |
0-60℃/20-80%RH(結露不可) |
| 外形寸法(W×D×H)mm |
2軸:210×280×90 |
| 4軸:260×350×100 |
| 重量 |
2軸:5kg |
| 4軸:6kg |
| 付属品 |
AC電源ケーブル、保証書、取り扱い説明書、CD-ROM |
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| ■ 2軸用 専用コントローラー |
| オーダー番号 |
指令分解能 |
型式 |
| 52002 |
100nm |
SA03-0002 |
| 52003 |
10nm |
SA03-0003 |
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| ■ 4軸用 専用コントローラー |
| オーダー番号 |
指令分解能 |
型式 |
| 52004 |
100nm |
SA03-0004 |
| 52005 |
10nm |
SA03-0005 |
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