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 HRSシステム
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セラミック製の高精度ステージに、パルスモータによる独自開発のフィードバック制御システムを使い10nm相対位置決め機能で高精度な繰返し精度を達成いたしました。セラミックをステージのベースとして使用することで、経年変化を抑え、高剛性且、真空、非磁性にも対応していけます。
ストローク20、50、100mmをラインナップ。
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| 一軸ステージ資料 |
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| X-Yステージ資料 |
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| 仕様 |
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| 型式 |
A |
B |
C |
D |
E |
F |
G |
H |
I |
J |
K |
L |
M |
N |
O |
P |
Q |
| HRS-0020 |
131.5 |
60 |
31 |
60 |
28 |
32 |
M3 |
3.5 |
50 |
50 |
4 |
3.5 |
50 |
16.5 |
24 |
44.5 |
59 |
| HRS-0050 |
242.5 |
120 |
40 |
120 |
34 |
50 |
M4 |
5.5 |
50 |
100 |
6 |
5.5 |
100 |
20 |
28 |
54 |
74 |
| HRS-0100 |
322.5 |
120 |
40 |
120 |
34 |
50 |
M4 |
5.5 |
50 |
100 |
6 |
5.5 |
100 |
20 |
28 |
54 |
74 |
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| 単位mm |
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| 型式 |
HRS-0020 |
HRS-0050 |
HRS-0100 |
| テーブルサイズ |
60×60mm |
120×120mm |
120×120mm |
| テーブル移動量 |
20mm |
50mm |
100mm |
| 繰り返し位置決め精度 |
制御指令による±20nm |
| 機械的繰り返し位置決め精度 |
±100nm(A5529によるガイド計測値) |
| 最小分解能 |
±10nm |
| 最大移動速度 |
10mm/sec |
| ボールネジ |
φ4,リード1.0mm |
φ6,リード1.0mm |
φ6,リード1.0mm |
| 移動ガイド |
クロスローラガイド |
| 駆動モータ |
5相ステッピングモータ |
| リミットスイッチ |
フォト・マイクロセンサ |
| 耐荷重 |
5kg |
10kg |
10kg |
| 質量 |
1.8kg |
2.5kg |
3.0kg |
| 主材料 |
アルミナセラミックス |
| 内蔵スケール信号周期 |
4μm |
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| HRS システム制御 |
| ■ インターフェース仕様 |
| TCP/IP |
Ethernet 10/100 Base-T |
| USB |
USB-2 ：B Type |
| RS-232C |
96000,19200,38,400：D-sub 9pin
8Bit,1Stop-bit,Non-flow,control |
| 汎用I/O |
入力：4ボート フォトアイソレータ入力 |
| 出力：4ボート オープンコレクタ出力 |
| ジョイスティック |
1ボート 専用コントローラ |
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HRSシステム
コントロールボックス |
| ■ 一般仕様 |
| 電源 |
AC100V±10%(50/60Hz)3A |
| 周囲温度/湿度（動作時） |
10-40℃/20-80%RH（結露不可） |
| 周囲温度/湿度（保管時） |
0-60℃/20-80%RH（結露不可） |
| 外形寸法（W×D×H）mm |
2軸：210×280×90 |
| 4軸：260×350×100 |
| 重量 |
2軸：5kg |
| 4軸：6kg |
| 付属品 |
AC電源ケーブル、保証書、取り扱い説明書、CD-ROM |
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小型NC微細加工機
RCセラミックエアスライド
URSシステム
