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 マニピュレータ
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- 駆動源は同期式圧電アクチュエータ（Spider）
- 小さなボディーに光学式リニヤエンコーダを内蔵しているので、フルクローズド制御による精密位置決めが可能
- 高推力!!（500g負荷も上下に駆動可能）
- 真空対応、非磁性化対応も可能
- 制御インターフェースは、業界標準のRS-232C。拡張性の高いTCP/IP（10/100Base-T）
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| ステージ仕様 |
| 軸構成 |
3軸（XYZ） |
| 大きさ |
D56.5mm×W64.5mm×68.5mm |
| 移動量 |
X・Y軸：20mm Z軸：10mm |
| 移動速度 |
最大5mm/s |
| 繰返し精度 |
XYZ軸共に100nm |
| 位置検出 |
光学式リニヤエンコーダ |
| 分解能 |
XYZ軸共に50nm |
| リミットセンサ |
フォトマイクロセンサ |
| ガイド |
クロスローラガイド |
| 積載重量 |
X軸：300g Y軸：600g Z軸：500g |
| 制御ユニット仕様 |
| 入力電源 |
AC90〜110V、50/60Hz |
| 消費電力 |
400VA |
| 性能保証動作温度・湿度 |
温度：＋10〜＋35℃ 湿度：20〜80%（但し結露無きこと） |
| 動作保証温度・湿度 |
温度：＋10〜＋40℃ 湿度：20〜80%（但し結露無きこと） |
| 保存保証動作温度・湿度 |
温度： 0〜＋50℃ 湿度：20〜80%（但し結露無きこと） |
| 外形寸法 |
W445 × H190 ×D345（単位：mm）（ブラケットを除く） |
| インターフェイス |
Ethernet10/100BASE-T TELNET接続 Port No.23
RS-232C rate:38400bps, length:8, parity:none, stopbit:1 |
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部品加工
RCセラミックエアスライド
