RCセラミックエアスライド・超精密X-Yステージ・ナノレゾリューションステージシステムの紹介
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セラミックエアスライド セラミックエアスライド
エアスライド・モーター・スケールの組合せで、真直・クリーン・高剛性・高特性を様々な分野へ
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セラミックエアスライド

RCセラミックエアスライド
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エアスライド、モーター、スケールの組合せで、真直・クリーン・高剛性・高特性を様々な分野へ。

超精密X-Yステージ
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セラミックエアスライド、超精密超音波モーター、超精密制御技術、レーザー干渉計の組合せで、超精密X-Yステージへ。
ご要望に合わせたステージを製作いたします。

ナノレゾリューションステージシステム
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超精密セラミックステージシステムです。
「High Resolution Stage HRSシステム」「Ultra Resolution Stage URSシステム」の詳細情報。