エアスライド、モーター、スケールの組合せで、真直・クリーン・高剛性・高特性を様々な分野へ。

セラミックエアスライド、超精密超音波モーター、超精密制御技術、レーザー干渉計の組合せで、超精密X-Yステージへ。
ご要望に合わせたステージを製作いたします。

超精密セラミックステージシステムです。
「High Resolution Stage HRSシステム」「Ultra Resolution Stage URSシステム」の詳細情報。

駆動源は同期式圧電アクチュエータ（Spider）。小さなボディーに光学式リニヤエンコーダを内蔵しているので、フルクローズド制御による精密位置決めが可能です。