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| システム商品・装置 |
マイクロドリルを用いた微細加工 |
■マイクロリアクター![]() シリコンウエハーとパイレックスガラスのマイクロリアクター (共に幅200μm、深さ100μm) |
■アルミ板の穴空け![]() (基板厚み0.5mm、φ0.05mm) |
レーザー微細加工 |
| ■φ2μm貫通孔付スライド |
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| 素材:PET | 孔数:横10×縦10 |
| ■ウェルスライド |
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| 素材:ポリカーボネート | ウェル寸法:φ15μm×h8μm ウェル数:1万個 |
| ■φ50μmウェルスライド |
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| 硝材:石英ガラス | ウェル寸法:φ50μm×深さ10μm ウェル数:40×40×4=6,400個 |
サンドブラスト加工 |
| ■4連流路製品 |
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流路:幅3×有効長42mm 素材:石英ガラス(2枚接合) |
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