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部品加工
微細加工| システム商品・装置 |
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マイクロドリルを用いた微細加工 |
■マイクロリアクター シリコンウエハーとパイレックスガラスのマイクロリアクター （共に幅200μm、深さ100μm） |
■アルミ板の穴空け （基板厚み0.5mm、φ0.05mm） |
レーザー微細加工 |
| ■φ2μm貫通孔付スライド |
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（拡大写真） |
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| 素材：PET | 孔数：横10×縦10 |
| ■ウェルスライド |
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（拡大写真） |
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| 素材：ポリカーボネート | ウェル寸法：φ15μm×h8μm ウェル数：1万個 |
| ■φ50μmウェルスライド |
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（拡大写真） |
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| 硝材：石英ガラス | ウェル寸法：φ50μm×深さ10μm ウェル数：40×40×4＝6,400個 |
サンドブラスト加工 |
| ■4連流路製品 |
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流路：幅3×有効長42mm 素材：石英ガラス（2枚接合） |
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